Oxalumina Ceramic Suction Cup Plate on vallankumouksellinen tuote tarkkuuskäsittelyjärjestelmien alalla. Se on valmistettu α-alumiinioksidikeramiikasta (α-Al2O3), jonka puhtaus on ≥ 99,9 % yhdistettynä suunniteltuun huokoiseen rakenteeseen optimaalisen tyhjiön jakautumisen saavuttamiseksi. Perinteisiin metalli- tai polymeeri-imukuppeihin verrattuna tämä keraaminen ratkaisu eliminoi täysin hiukkaskontaminaation riskin ja kestää äärimmäisiä lämpötiloja (1750°C jatkuva käyttö) ja syövyttäviä ympäristöjä. Sen ainutlaatuinen mikrorakenne (2-5 μm tasainen huokoskoko, 3,89 g/cm³ tiheys) varmistaa submikronin tasaisuuden (pinnan karheus Ra≤0,1 μm), mikä tekee siitä ainoan ammattimaisen imukuppialustan, joka pystyy käsittelemään 300 mm:n puolijohdekiekkoja ±0,1 μm:n imutarkkuudella.
1. Läpimurto materiaalin suorituskyvyssä
Lämpöstabiilisuus: ei muodonmuutoksia 800°C lämpöshokkisykleissä ja käyttöikä 5 kertaa pidempi kuin seostettujen imukuppien käyttöikä (korkean lämpötilan prosessiympäristö).
Kemiallinen kestävyys: 1 vuoden painonpudotus 30 % rikkihappoupotuksella on alle 0,01 g, sopii akun elektrolyyttikäyttöön ja kemialliseen höyrypinnoitusprosessiin.
Eristyskyky: Hajotuskentän voimakkuus saavuttaa 40 kV/mm, mikä varmistaa turvallisen toiminnan plasmaetsauskammiossa.
2. Suunnittelun innovaatiot
Huokoisuuden hallinta: 40 % huokoisuus saavutetaan geeliruiskuvaluprosessilla, ja 1-3 μm huokosseinämärakenne estää ultraohuiden osien (≤50 μm) adsorptiota ja muodonmuutoksia.
Älykäs arkkitehtuuri: Sisäänrakennettu lämpötila-anturi tukee reaaliaikaista lämmönhallintaa -196 ℃:sta erittäin korkeaan lämpötilaan.
